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高低温真空探针台是如何工作的?

发布时间:2022-08-23      点击次数:43
  高低温真空探针台是一款为晶片、器件和材料(薄膜、纳米、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等)提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台。CPS系列低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量,广泛应用于半导体工业(芯片、晶圆片、封装器件)、MEMS、超导、电子学、物理学和材料学等领域。为了提高系统的实用性,系统还可以提供3.2K的温度扩展选件、振动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵机组、热辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤电缆、光学样品架等选件。
 
  高低温真空探针台是如何工作的?
 
  可以固定晶圆或芯片,并准确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中,并使用显微镜将探针端放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针端都被设置在正确的位置,就可以对待测物进行测试。
 
  对于带有多个芯片的晶圆,使用者可以抬起压盘,压盘将探针头与芯片分开,然后将工作台移到下一个芯片上,使用显微镜找到准确的位置,压板降低后下一个芯片可以进行测试。半自动和全自动探针台系统使用机械化工作台和机器视觉来自动化这个移动过程,提高了探针台生产率。
 
  可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上,从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。
 
  晶圆检测是半导体制造中*的步骤,选择合适的晶圆探针台和探针来进行晶圆检测也很重要。超精密气浮运动平台具有高精度和运动稳定性,让系统在快速运行时,能准确识别和测量出晶圆的种种缺陷,大大提高晶圆检测效率。

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